無(wú)塵室的濕度控制
無(wú)塵室是污染控制的基礎,控制空氣懸浮微粒濃度,從而達到適當的微粒潔凈度級別。
無(wú)塵室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間,被設計成特殊構造的封閉區域。隨著(zhù)生產(chǎn)行業(yè)越來(lái)越重視質(zhì)量檢查,對缺陷零容忍和嚴格的生產(chǎn)實(shí)踐標準,如今對無(wú)塵室的要求越來(lái)越高。
無(wú)塵室的主要應用領(lǐng)域是電子工業(yè)、制藥、航空航天、汽車(chē)、信息技術(shù)以及許多需要更嚴格制造條件的其他領(lǐng)域。無(wú)塵室的應用范圍:顯微鏡下的小組件、電子設備和儀器的制造;對藥物和食品的無(wú)菌性和純度的日益增長(cháng)的需求;用于醫學(xué)和生物應用的無(wú)菌環(huán)境。
無(wú)塵室的污染物可以來(lái)自各種各樣的來(lái)源:空氣(潔凈度是根據無(wú)塵室的種類(lèi)和灰塵的種類(lèi)來(lái)確定的)、水分、化學(xué)品、植物本身和工作人員。
其中濕度會(huì )帶來(lái)許多影響:
微生物生長(cháng)與腐蝕
工作臺表面的凝結導致生產(chǎn)計劃延誤和產(chǎn)品質(zhì)量低劣
導致產(chǎn)品腐敗
下面以半導體和制藥無(wú)塵室的高濕度為例做具體闡述:
在半導體無(wú)塵室里,微電路和微芯片制造需要被稱(chēng)為光阻的吸濕聚合物來(lái)屏蔽蝕刻過(guò)程的電路線(xiàn)。由于這種材料的吸濕性,它們會(huì )吸收許多水分,因此,微觀(guān)電路線(xiàn)被切斷或橋接,導致電路故障。此外,在半導體制造中,當晶片制造區域中的濕度水平波動(dòng)時(shí),可能出現大量的問(wèn)題。烘烤時(shí)間通常會(huì )增加,整個(gè)過(guò)程變得更加難以控制。相對濕度超過(guò)35%就會(huì )使部件容易受到腐蝕。另外,當顯影溶劑噴到晶片上時(shí),溶劑迅速蒸發(fā),冷卻晶片時(shí)也足以冷凝空氣中的水分。這種額外的水分可以改變顯影劑的特性,并被吸收到半導體層上。這可能會(huì )導致半導體腫脹和進(jìn)一步的產(chǎn)品質(zhì)量問(wèn)題,需要額外的附加過(guò)程來(lái)補救。
在制藥無(wú)塵室的制藥設備中,高濕度會(huì )使細藥粉吸收水分,在藥片壓縮機上堵塞藥粉流動(dòng)。由于吸濕引起的粉末不一致會(huì )讓藥片不成型和藥效丟失。濕度的變化意味著(zhù)機器溫度和噴淋速率難以調節,導致熱損傷和濕氣侵入。此外,空氣工作管道中的濕度為細菌生長(cháng)創(chuàng )造條件,潮濕的地方還會(huì )引起其他污染。
一般來(lái)說(shuō),無(wú)塵室的相對濕度應控制在35-40%之間,這也是工作要求。如此嚴格的濕度控制就需要一臺除濕機,而安詩(shī)曼工業(yè)除濕機就是你的首選。
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